#EUV光刻机
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  • 23. 韩国企业开发出基于石墨烯材料的EUV光罩保护膜
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  • 22. ASML CEO:High-NA EUV将于2024年出货,每台价格至少3亿欧元!
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  • 21. ASML公布扩产计划:EUV光刻机90台/年,DUV光刻机600台/年
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  • 20. ASML CEO:美国新规影响有限,可继续向中国出货非EUV光刻机!
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  • 19. ASML首席技术官:当前光刻技术或走到尽头,High-NA EUV可能成为终点
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  • 15. 1台EUV光刻机1年耗电超1000万度!2025年台积电将消耗全台12%电力
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