【CSEAC 2022】布鲁克参展第十届中国半导体设备年会

       布鲁克是全球领先的分析仪器公司，布鲁克纳米表面仪器部作为其下属事业部，一直着眼于研发新的表面计量、检测方法和工具，提供不同维度的表面表征测试的多种应用方案。我们的核心产品有原子力显微镜、探针式轮廓仪、纳米压痕仪、三维光学轮廓仪、摩擦磨损测试机,、SEM/TEM 原位力学杆等。这些设备适用于从高校研究所到工业领域的材料、化学、生命科学、物理、LED、太阳能、触摸屏、半导体、通信以及数据存储等领域进行科学研究、产品开发、质量控制及失效分析的准确、高效分析测试的要求，帮助我们的客户在各自的表面测量测试应用中解决面临的问题，提升技术和工艺水平，提高研发效率，从而实现最大限度的回报。

        布鲁克纳米表面仪器部在中国的业务是布鲁克公司全球业务的重要组成部分，很早就在北京、上海和广州陆续设有产品演示中心，在北京还单独设立的客户关怀中心和备件仓库，大大方便了客户从购买设备之前的考察到售后阶段的各种需求。不论是售前还是售后服务，都获得了广大用户的好评。

高级基板表面关键尺寸检测系统，专门为全尺寸IC基板和PCB表面结构测量设计，为质量控制、流程监控及参数优化的部门提供可靠数据支持。

全自动晶圆级封装基板三维形貌测量平台，采用非接触干涉原理精确测量样品表面三维形貌，获得粗糙度、关键尺寸等信息。获得的结果准确、可重复、可溯源。

先进薄膜与微结构表面力学性能测试系统，用于半导体表面各种材质薄膜的力学性能测试，以及膜层间结合力测试。设备还可搭配温度、气氛控制器，实现多样化测试。

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