【CSEAC 2022】沃特塞恩参展第十届中国半导体设备年会

       成都沃特塞恩电子技术有限公司（以下简称“沃特塞恩”）是位于中国成都高新区的一家专注于射频能量应用的国家级高新技术企业，从事固态微波功率源和固态射频电源的研发、生产和销售，提供微波、射频能量在ISM领域和半导体装备领域应用的产品、解决方案和技术服务。

       自成立以来，沃特塞恩持续开发了覆盖ISM频段的全系列固态功率源产品，以不断迭代升级的高性能产品填补了全球工业领域固态功率源产品市场的空白。在持续深耕ISM领域应用的过程中，沃特塞恩联合公司旗下拥有丰富等离子体技术开发经验的成都纽曼和瑞微波技术有限公司，自主研发了基于固态微波源的远程等离子体系统（RPS）、射频电源等产品，并成功应用于半导体材料刻蚀、干法清洗、去胶、ALD、MBE等产业，实现国产化替代并完成了全球多产业应用布局。

       沃特塞恩团队始终坚持以科技创新为主的发展方向，不断加强产品研发创新、夯实生产管理能力、严格把控产品质量，立志做最专业的产品，创世界一流的品牌，成为值得全球客户托付信赖的合作伙伴！

产品特点

〉微波频率2450MHz，微波功率3kW;

〉远程等离子腔特别冷却设计，提高腔体散热能力，减少部件的损耗；

〉可配置手动／自动调节匹配器，气体分配装置，不同等离子腔内衬材料，可针对不同工艺应用优选设备配置；

〉特殊的腔体结构设计，便于腔体的维护，减少维护成本；

〉采用固态微波源，相较于传统磁控管功率源，功率与频率更加稳定，免维护。

应用范围：

适用半导体PR Strip, Descum, PAS etch, PECVD/ ALD in-situ clean等工艺

产品特点：

〉频率13.56MHz（频率可调），功率3kW;

〉频率源采用DDS直接数字频率合成技术，频率稳定度高；

〉射频电源有着很好的功率稳定度；

〉适应多种驻波比的负载；

〉拥有完善的保护电路，保证射频电源可靠运行；

〉电源功放使用贴片型半导体三极管制作，寿命比传统分立式三极管更长。

应用范围：

适用半导体ICP,CCP刻蚀，PECVD，等离子清洗等制程

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