【CSEAC 2022】东京计装参展第十届中国半导体设备年会

     东京计装株式会社创立1954年，是流量计和液位计的专业制造厂家。从国家的基础产业，重大项目，核电厂到与日常生活密切相关的产业，东京计装生产经营的流量计和液位计都发挥着重要作用。其应用领域主要包括集成电路，液晶，太阳能电池产业；石油化工，船舶，电力，空调，环保产业；生物，制药，食品产业以及汽车，发动机的开发测试。

      东京计装用于半导体设备的流量计产品，特别是用于药液、纯水和Slurry的PFA材质超声波流量计和超声波流量控制器被日本、美国、韩国以及中国的各大著名设备厂商采用，产品的业绩丰富，市场占有率高，深受用户的好评。

      东京计装（北京）仪表有限公司是日本东京计装株式会社的子公司，主要从事的业务包括东京计装株式会社的产品在中国市场特别是半导体，液晶，太阳能电池，汽车等行业的推广销售和技术服务。为相关行业提供具有世界先进水平的流量计产品及服务，为相关行业的发展做出贡献。   

用途：

最适合半导体制程中涂胶显影、清洗、CMP、药液供給

等设备中纯水、化学药液、Slurry等流量的测量。

主要技术指标

1、耐腐蚀性强：接液部采用PFA材质

2、优秀的耐气泡性能

3、精度高：1%R.D. 

4、流量范围：最小：0-10ml/min；最大0-80L/min

5、连接尺寸：1/4″、3/8″、1/2″、3/4″、1″

6、信号输出：电流或电压、脉冲、报警、RS-485

7、流体温度：10~90℃（超过90℃请联系咨询）

8、流体压力：0~0.5MPa

用途：

最适合半导体制程中涂胶显影、清洗、CMP、药液供給

等设备中纯水、化学药液、Slurry等流量的控制。

主要技术指标

1、整合超声波传感器、控制器及流量演算、阀控制电路于一体。

2、耐腐蚀性强：接液部采用PFA或PTFE材质。

3、流量范围：最小：2.5-25ml/min；最大：200-2000ml/min。

（流量超过2000ml/min也可对应，具体请联系咨询）

4、流体温度：10-50℃（超过50℃请联系咨询）

5、输入输出：DC 4-20mA或DC 0-10V，数字通讯

入场听会，免费观展

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听会观展，多重福利