【CSEAC 2022】集萃苏科思参展第十届中国半导体设备年会

      苏科思科技Sioux成立于1996年，全球总部位于荷兰埃因霍温智慧港，可为半导体设备、医疗器械及分析仪器提供高度定制化的解决方案及研发服务，包含整机系统设计，各类子系统设计及小批量多样性产品样机交付等。

      成立26年来，苏科思在对半导体装备中至关重要的超精密运动控制、光学量测、设备控制软件、流程自动化、晶圆检测及对准算法、和大数据分析及预测等解决方案上积累了丰富的经验。

       凭借专业的知识和全球900多名的顶尖研发工程师，苏科思科技与领先半导体行业企业，如阿斯麦、KLA、 ASM-PT、Nexperia和K&S等合作，提供涵盖半导体前道和后道工艺装备、全面的解决方案，助其进行产品研发或推动其新产品快速上市。

      2019年2月，苏科思科技集团携手江苏省产业技术院、高铁新城在苏州相城区成立亚洲研发总部 – 江苏集萃苏科思科技有限公司 。成立至今，苏科思科技快速建立了一支120余人的团队，覆盖系统设计、光学、软件、算法、机械、电子、组装等多学科全方面能力，借助国外多年的半导体设备研究经验及设计平台，与国内众多头部半导体前道及后道设备厂商建立了稳定全方面的合作，解决方案包括前道量测、激光切割、先进封装、光刻、固晶等主要设备。

基于对半导体设备开发的多年经验，苏科思开发了纳米级高速晶圆运动平台。该运动台采用苏科思自主知识产权的控制软件开发平台及控制板卡，集成了主动减震及主动内部驱动力消除模块，及自动调平功能。采用系统性模块化设计思维，能够实现高精度，高速，多自由度运动。此外，还能够为不同半导体设备的特殊应用进行定制化开发，能够让运动台与半导体设备完美结合，使得设备的性能发挥到最大。比如X、Y 和Rz 三自由度气浮运动平台UPSS, 以较高的性价比实现高达100nm 的绝对定位精度,50nm的重复定位精度和1000mm/s ，及1g的速度及加速度。

sMA-RT是基于模型化内核开发的高性能实时控制系统，包含精密运动控制系统和精密光学同步成像控制系统。精密运动控制系统采用高速高可靠性的光纤总线和开放的分布式现场总线，具有高带宽、低延迟、拓扑结构灵活等特点，智能运动控制算法基于模型开发，灵活性强、适用范围广，具有自动参数辨识、参数整定和故障诊断等功能。精密光学同步成像系统，具有高速低延迟动态位置/速度信号同步控制功能。sMA-RT控制系统可广泛应用在中高端半导体前道/后道设备整机系统控制、复杂多轴多测量维度设备系统控制、多自由度高精密运动台控制等领域。

苏科思可提供从用户需求收集，到前端和后端软件开发，以及人机界面系统集成的整体解决方案。界面典型功能包含：400万个晶粒交互式晶圆显示，实时缩放而不滞后；高效配置、复杂分析和动态的生产程序管理；交互式工艺流程图；统计过程控制(SPC)，将机器性能及其分析可视化；自动校准、调试或维修操作；事件、错误、警告的记录与可视化；轻松配置设备设置；完善的用户管理，实现多级别授权划分和访问权限；界面多语言，随意切换。

SAXCS (Smart And fleXible Control Solution) 是由苏科思完全自主研发的高性能实时控制系统，该系统使用基于模型的开发方式，可以在Simulink以及苏科思自研控制组件（算法）的基础上进行快速开发。与此同时，SAXCS提供了PIL（处理器在环）验证，HIL（硬件在环）验证以及一套完整的数据采集分析工具，基于这些功能，可以大大降低项目风险，开发成本以及上市周期。SAXCS同时也提供了C/C++, C# .NET, LabVIEW, Python, MATLAB等编程接口，用户可以基于这些接口进行快速二次开发以及编写自动化测试程序。

在硬件方面，SAXCS支持EtherCAT，PCIe, TCP/IP等多种总线，可以方便的将各种设备集成到控制系统中。

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