微导纳米周仁：半导体设备国产化正加速启航 ALD设备实现从0到1突破

微电子制造

半导体设备国产化正加速启航

ALD设备实现从0到1突破

——第十届中国半导体设备年会会前访谈

江苏微导纳米科技股份有限公司，是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积装备的开发、设计、生产和服务。近日，江苏微导纳米科技股份有限公司总经理周仁先生接受了第十届中国半导体设备年会会前专访。

半导体设备和材料是半导体的支撑产业，与材料国产化一样，设备的国产化也是热门话题。我国现阶段半导体专用设备国产化的进展情况如何呢？

周仁先生就此问题谈了自己的看法：此前我国半导体设备大量依赖进口，国产渗透率较低，甚至国产设备争取入厂验证、与进口设备“同台竞技”的机会都很困难。现阶段贸易摩擦、“缺芯”危机的风险也给国产设备带来更大的机遇，国内设备国产化正加速起航。

周仁先生举例说明，以微导纳米为例，公司首套用于300mm（12英寸）晶圆的High-k栅氧层薄膜沉积的ALD设备在客户28nm生产线上获得验证，其设备总体表现和工艺关键性能参数达到国际同类水平，并已取得客户重复订单，实现了国产半导体ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺量产线上的突破。可以说，半导体ALD设备的国产化实现了从0到1的突破，国产替代空间正在快速打开，国内核心设备公司迎来了发展新窗口。

在设备国产化的征途上，国内设备企业面临的最大问题或者说最大困难是什么？您所在的企业是如何应对的？

周仁先生指出，放眼国内，半导体设备的产业链是不完善的，很多关键材料以及零部件都依靠进口，同时还面临人才稀缺的问题。微导纳米由多位国内外技术专家主导，主要采取自主研发模式，也是国内少数能在短期内快速反馈并协助客户解决产线上ALD技术问题的设备厂商之一。2020年初，公司便着手建立产业化应用中心，支持公司前瞻项目概念机和潜在客户样品的验证，配备更高级别的洁净室与半导体级检测设备，持续打造具备核心竞争力的研发软硬件设施并加强高层次人才团队建设，同时，微导纳米也积极开展供应链多元化工作，积极扶植、协助供应商。

请问，您对我国半导体产业链、供应链健康有序发展有何建议？

对此问题，周总给出了自己的看法与建议：目前国内半导体产业蓬勃发展，有巨大市场需求，也有资本大量涌入，但同时我们也必须清醒地认识到，半导体行业是一个知识、经验积累密集型的行业，我们必须一步一个脚印，踏踏实实地做好工作，积极培养人才、完善供应链。微导纳米作为掌握薄膜沉积工艺关键核心ALD技术的国内设备厂商，我们建议：一是强链补链，半导体设备尚属我国半导体产业链的短板，前一阶段的政策支持主要面向下游制造企业，现阶段对设备等支撑企业的专项扶持工作正在逐渐开展中，建议加大支持的力度、速度、专业度和精准度，把这项政策落到实处，适当眷顾一些后起之秀，特别是真正有实力的黑马；二是集中资源，打造先进集成电路制造技术产业联盟，由上下游龙头企业深度参与，构建创新协同供应链，联合开发降低装备成本；三是强化基础，做好自主研发、提升国产化率和加强人才梯队的培养；四是为了赶超国际先进水平，要提倡开放有序的竞争机制，推动中国半导体行业更具活力、健康快速发展。