【CSEAC 2022】睿励仪器参展第十届中国半导体设备年会

      睿励科学仪器（上海）有限公司是归国留学生团队在上海市政府支持下成立，位于上海浦东新区张江高科技园区的集成电路装备制造企业。公司致力于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的集成电路芯片工艺检测设备。

      公司汇集国内外众多技术专家，研发实力雄厚，经过全体员工的不懈努力，公司产品已成功实现产业化，在集成电路芯片制造、LED、OLED、光通讯等领域都有广泛应用。作为工艺检测设备的领军企业，公司自主研发的薄膜测量、光学关键尺寸测量、光学缺陷检测等系列产品填补了我国在该领域的空白，帮助生产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本，得到了客户的认可和好评。

      睿励将一如既往，提升产品质量，拓展产品应用，提高服务品质，为客户提供更先进的光学检测设备和更全面的工艺解决方案。

产品系列包括TFX3000/ TFX3050/TFX3200/ TFX3250，应用于8英寸及12英寸大规模集成电路前道生产线，工艺节点对应28nm及以上，涵盖厚度范围在30A到5微米。具有高精度，高产能，高性价比的特点。

产品系列包括TFX4000i/TFX4000i UT+/TFX4000E/TFX4000E UT+，新一代的薄膜厚度测量设备，应用范围覆盖集成电路制造前后段，适用于逻辑代工、动态存储以及3D闪存等多个领域，为客户提供全产线的工艺支持。

WSD系列产品是睿励科学仪器（上海）有限公司自主研发、生产的全自动晶圆外观缺陷检测设备。设备的基本检测原理是利用光学系统成像、通过图像分析的方式来捕抓并分类各种晶圆表面的缺陷，该系列缺陷检测设备当前最高灵敏度可以达到100nm。广泛应用于缺陷检测和ADI/AEI/API/OQA等宏观检测

FSD系列产品分辨率达到1.5um，广泛应用在LED行业的平片检测、PSS片检测、外延片检测、COW片检测以及COT的检测；分立器件行业的COW、COT检测；太阳能电池行业的工艺过程检测；主要竞争优势有高性价比、灵活的客制化、多功能一体机。