芯源微：高产能Track发布

本文来自方正证券研究所2022年12月19日发布的报告《芯源微：发布浸没式高产能涂胶显影机，全面覆盖28nm以上多种光刻技术》，欲了解详细内容，请阅读报告原文，吴文吉S1220521120003

联系人：胡园园 18018662242

事件：12月17日，公司发布前道浸没式高产能涂胶显影机新品FT（III）300。

新机型：独创对称分布高产能架构，全面覆盖28nm以上多种光刻技术。该机型采用公司独创的对称分布高产能架构，满配36 Spin处理单元，搭载公司自主研发的双向同步取放机械手，可匹配全球主流光刻机联机生产，可在复杂工艺下实现300片以上产能。该款机型通过选配可全面覆盖I-line、KrF、ArF dry、ArF浸没式等28nm以上节点多种光刻技术，也适用SOC、SOH、SOD等在内的其他旋涂类应用。为应对未来光刻机产能的不断提升，该机型还可扩充至更多处理单元，由目前的36 spin扩展为48 spin，产能提升到360 WPH，同时实现在低占地面积下兼顾机台易维护性，有效提升机台维护效率。

首台浸没式高产能机台已验证通过实现验收，预计2023年实现批量订单。公司首台浸没式高产能涂胶显影机技术上已运付客户端完成硬件指标、干湿运行颗粒、光阻膜厚均匀性、显影线宽均匀性、光刻机联机、in line联机产能等各项认证；量产上，也与国际主流光刻机联机作业，完成了客户端十余款光阻、多层layer量产验证，均达到客户量产指标。近期，该机台已顺利实现了验收；预计明年该机型可实现批量订单。

在手订单饱满，加码保障2024年40亿+产能。22Q3 期末公司合同负债6亿元继续保持历史高水平；存货12.9亿元，创历史新高；较高的合同负债与存货均验证公司在手订单充沛，下游需求旺盛。产能上，目前公司沈阳飞云路厂区产能持续饱满，彩云路厂区已稳步达产，上海临港新厂房计划在春节前完成封顶；此外公司正规划布局沈阳彩云路二期，预计至2024年公司总体产能可达到40亿+。

盈利预测和投资评级：我们预计公司2022-2024年营业收入分别为13.3/19.6/26.0亿元，归母净利润1.8/2.5/3.2亿元，维持公司“推荐”评级。

风险提示：（1）下游晶圆厂扩产不及预期；（2）中美贸易摩擦风险；（3）产品研发及市场推广不及预期。