作者：邱世梁、王华君

联系人：李思扬

来源：浙商机械国防团队报告

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摘要

投资案件

正文

1. 光伏电池片：未来5年迎重大技术变革！设备受益迭代需求

光伏行业：由政策+技术驱动，行业发展犹如“长江后浪推前浪”，伴随每一代技术进步，中国出现了尚德、英利、协鑫、隆基、通威等一批又一批的光伏行业龙头。

未来5年：电池片是光伏产业链重大技术变革环节，设备受益迭代需求。

技术发展史：铝背场BSF 电池（1 代， 2017年以前）→PERC 电池（2代，2017年至今）→PERC+/TOPCon（2.5 代）→HJT电池（3 代）→HBC 电池（4 代，可能潜在方向）→钙钛矿叠层电池（5代，可能潜在方向）。

光伏行业的核心是“降本+升效”、降低度电成本。单晶电池技术的不断迭代，带来转换效率从2014年的19%上升至2020年的23%-24%，预计未来有望迈向30%。

2. PERC：效率已近天花板；HJT、TOPCon将迎爆发

PERC为目前市场主流技术路径，仍具备几年生命期，但产线扩张即将进入尾声。

1)   据不完全估计，2021年主流PERC电池片厂商规划的新增产能达143GW、为历史最高值，主要因大尺寸技术迭代小尺寸所致。

2)   但PERC转换效率已接近24%的理论极限，未来提高空间有限。此外，PERC电池存在PID、LID、LeTID等衰减，后期发电能力弱。

3)   预计2021年PERC扩产潮将达到顶峰、此后各大厂商再扩PERC产能意愿有限，更多精力将用于布局HJT、TOPCon等新技术路径电池。

复盘PERC电池的发展历程，可基本分为三个阶段。

1)  第一阶段，PERC电池尚处于技术验证阶段，技术路线可行性在此阶段得到验证，产能规划多为试验产能扩张，设备以进口为主。

2)  第二阶段，PERC技术的成熟推动电池产能的扩张，实现GW级批量出货，新型电池的市占率逐步提升，国产设备开始发力。

3)  第三阶段，国产设备的投资降本显著提高PERC电池利润，在高利润的驱动下，GW级扩产项目爆发式增长，PERC电池的市占率大幅提升，迅速取代BSF电池。

1)  2012-2014年：PERC电池小规模量产，设备供应由国外厂商主导

PERC电池技术处于工艺验证阶段，逐步实现小规模量产。2012年，由中电光伏牵头的“863”专项的启动标志PERC电池正式在我国开启产业化进程。这一阶段，PERC电池转换效率已提升至20.4%，但由于技术尚未成熟，该阶段的产能布局多为试验产能扩张。

设备端：国外PERC电池设备供应商占据主导地位，国产设备开始起步。这一时期，PERC电池核心设备的供应由国外厂商垄断，国内厂商开始推出国产设备的试验与小规模量产，但此阶段国产设备尚未涉及PERC电池背面钝化，设备性能与国外相比仍有较大差距。

2)  2015-2017年：PERC效率提升推动产能扩张，国产设备技术逐步成熟

随着PERC电池技术的成熟，至2017年底，PERC电池的平均转换效率提升至21.3%。这一时期的技术发展促进了PERC电池产能的进一步扩张。据CPIA数据，PERC电池的全球产能从2015年的4.9GW增长到2017年的28.9GW，2017年PERC电池的市场占比提升至15%。

设备端：国产设备工艺日趋成熟，逐步打破国外垄断。以国内设备商捷佳伟创为例，通过在电池片设备领域的深耕，其PECVD设备性能不断提升，2017年价格已下降至68.79万/管。国产PERC电池设备的性价比日益凸显，成功打破国外厂商对核心设备供应的垄断。

3)  2018-2020年：PERC电池产能爆发式增长，核心设备完成国产替代 

成本下降促进PERC电池产能激增，各大光伏企业布局GW级扩产项目。由于转换效率的提升和设备价格的下降，PERC电池产线的投资成本从2018年的42万元/MW下降至2019年的30.3万/MW，进而推动了PERC电池产能的爆发式增长，隆基、晶科、爱旭等标杆企业均推出了GW级扩产项目。2019年，全球PERC电池片新增产能高达59GW，同比增长103%，总产能突破126GW。

设备端：随着国产PERC设备的工艺基本成熟，高性价比的国产PERC电池设备成为主流，占据了市场50%以上的市场份额。2019年，通威向捷佳伟创采购PECVD设备的总金额超4亿元，标志着国产设备受到电池龙头的认可。

复盘渗透率的表现来看，2017年常规BSF电池依然占据主流地位，市占率仍高达83%。随着PERC电池经济性得到产业认可，PERC市占率从2017年的15%上升至2020年的86%，短短4年时间渗透率提升近6倍、全面替代BSF电池、爆发力极强，快速放量成为市场主流的技术路线。

我们判断，虽然未来2-3年PERC将仍为市场主流，但随着HJT、TOPCon设备的成熟、经济实用性达到平衡点，将复制PERC电池快速渗透的历程，快速爆发、开启下一代电池片技术生命周期。

3. 异质结：“增效+降本”潜力巨大，是光伏未来颠覆性技术

3.1.HJT电池：产业化临近、规划产能超60GW，将取代PERC成为第三代电池片技术

晶体硅异质结太阳电池（HJT）是在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，它综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，具有转换效率高、工艺温度低、稳定性高、衰减率低、双面发电等优点，技术具有颠覆性。

对比PERC电池，HJT潜力巨大，将成为第三代电池片技术主流。据我们综合测算，HJT在25年全生命周期综合发电量较PERC高15%-20%。

1)  转换效率更优：HJT效率潜力超28%，远高PERC电池。受P型单晶电池自身材料的限制，PERC电池转换效率已接近天花板，而HJT最高转换效率已超26%（日本Kaneka曾创26.63%，国内最高为汉能的25.1%），长期有望超28%，效率优势明显。

2)  工艺流程更简化，降本空间更大：HJT为低温工艺，在硅片成本（利于薄片化和减少热损伤）和非硅成本（燃料能源节约）上均更优。同时，HJT只需4道工艺，相比PERC（8道工艺）和TOPCon（9-12道工艺）成本更低。

3)  光致衰减更低：HJT电池10年衰减率小于3%，25年发电量下降仅为8%，衰减速度远低于PERC及TOPCon电池。

4)  低温系数、稳定性高：在82摄氏度环境下，HJT光电转换效率比传统组件高出13%。

5)  双面率更高：HJT为双面对称结构，双面率有望提升至93-98%（PERC和TOPCon均在80%附近，但很难再提升），可获得10%以上的年发电量增益。

回顾历史：异质结（HJT）电池最早由日本的三洋（Sanyo）公司于1990年研发，专利保护于2010年过期。在过去30年间，产业经历了萌芽期、实验室阶段、初步的商业化阶段和逐步的产业化阶段。

据不完全统计，目前HJT国内规划产能超60GW，新老电池片厂商均有开始布局。安徽华晟（500MW量产线）、明阳智能（5GW规划）、金刚玻璃（1.2GW规划）、爱康科技（3.4GW招标规划）、润阳集团（5GW规划）等已纷纷开始布局，历史包袱较轻。传统电池片厂商中，通威（金堂1GW量产线）、晶澳、东方日升、阿特斯、天合光能等也已相继进入，加速从PERC向HJT的转型。

展望未来：预计2020-2021年将成为HJT投资元年，行业扩产规模将达到10-15GW。随着设备国产化、银浆和靶材成本的降低、以及转换效率提升带来的“增效+降本”效益凸显，2022年行业将进入快速爆发阶段、扩产规模有望达30GW以上。

3.2.HJT设备：多技术路线“百花齐放”，国产设备厂将强力推动产业化进程

HJT 4大工艺步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应的设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备,在设备投资额占比分别约10%、50%、25%和15%。

1）制绒设备：主要是利用化学制剂对硅片进行清洗和表面结构化，核心设备是湿式化学清洗设备。

主要厂商：日本YAC、德国Singulus、德国RENA。捷佳伟创的清洗设备已完成样机并交付。

2）PECVD（非晶硅薄膜沉积）：该步骤取代了传统PERC工艺中的扩散工艺，是构造异质结结构的关键，难度、壁垒最高，价值占到全部设备的50%，为异质结设备的核心。

从技术路径上：板式PECVD是目前主流，管式PECVD、Cat-CVD具潜力。国外厂商包括：梅耶博格（已不对外提供）、应用材料等。国内厂商包括：迈为股份、金辰股份、捷佳伟创、理想能源、钧石能源等。

板式PECVD：将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的电极，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电长的作用下在空间形成等离子体，分解SiH4中的Si和H，以及NH3中的N形成SiNx沉积到硅表面。优势：技术最成熟，易实现大面积均匀性，材料缺陷态密度低。

管式PECVD：使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多篇硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。优势：相比板式PECVD，成本端有更大的下降空间。

CAT-CVD：源气体分子在真空室中通过加热的催化剂进行催化裂化反应分解，并将裂解的物质输送到基材上形成薄膜。优势：相比传统PECVD，转换效率提升潜力大，对于源气体的利用率在80%以上。且Cat-CVD理论上可在热丝两侧同时沉积，生产速度更快。

3）TCO薄膜设备-PVD/RPD：技术壁垒低于PECVD，主要包括RPD和PVD两种的技术路径设备。目前主流技术路线是用PVD（物理气相沉淀），相较于PVD，RPD的效率和质量更高，但是受制于日本住友公司对设备和靶材的垄断，成本较高。

4）丝网印刷机：包括丝网印刷（包括丝网印刷机，烧结炉，分选机）和电镀铜电极两种技术路线，目前以丝网印刷为主流。电镀铜电极相较而言更便宜，但是工序较多、工艺复杂、有废水处理难等问题，目前参与厂商较少。

国外厂商包括Baccini（AMAT的子公司）等。

国内厂商：迈为股份占主导地位，捷佳伟创、金辰股份也推出了相关产品。

目前，HJT设备4大环节均已实现国产化。国内电池设备厂商（迈为、捷佳、金辰、钧石、理想）已纷纷在HJT不同工序环节布局，实现小批量订单销售，推动HJT电池行业加速前进。

HJT技术壁垒高、成本优化空间大，只有将设备做到极致的企业能最终胜出。行业可能类似PERC时代，形成2-3家寡头垄断的竞争格局。

3.3. 展望未来：成本降低是核心！预计2022年将具备产业化性价比、行业将爆发

电池片核心看单W成本：我们预计各项成本均有望在未来下滑，预计到2022年HJT将达到与PERC旗鼓相当的成本区间。4大降本方向分别为：

1)   硅片：目前N型硅片对比P型具有约8%左右的溢价空间，未来有望通过2方面降本。

随着未来N型硅片需求起量，规模效应将缩小N型与P型硅片之间的溢价空间。

2)   设备折旧：随着国产设备的“降本+提效”，目前4-5亿/GW的设备投资额仍有较大的降本空间。

3)   浆料：HJT需使用低温银浆，目前主要依赖进口，有望通过4大方向降本。

无主栅、多主栅技术在HJT电池、组件上的应用，使得银浆的耗量快速减少。

“银包铜技术”商业化量产，将降低银浆耗量30%。

通过对串焊设备精度的提升，减小银浆主栅上焊接点的大小（银浆主栅上耗银量较高的部分），从而节省主栅上的银浆耗量。

国产低温银浆起量（常州聚和、苏州晶银、浙江凯盈等），打破日本垄断，相比高温浆料的溢价将大幅消失。

4)   靶材：目前主要被日本住友垄断，未来将通过提升靶材利用率、规模化回收、背面AZO替代和国产化（广东先导、壹纳光电等）降本等方式解决。

据测算，对比PERC电池目前约7毛/瓦的不含税总成本，HJT电池仍有2毛/W的成本劣势。预计随着设备厂商的技术进步（如转换效率和节拍的提升）、银浆、靶材的国产化（已有多家国产厂家布局）、硅片的薄片化（N型硅片厚度降至120-130μm），将共同推动HJT技术的真实降本，使得经济性进一步凸显，预计到2022年HJT将达到与PERC旗鼓相当的成本区间。

伴随HJT电池产业化经济性逐步接近、超越PERC电池，预计2021年将有10-15GW的HJT扩产潮，2022年将迎来30GW以上扩产潮，产线建设进入加速期。

3.4.市场空间：预计2025年HJT设备市场空间超400亿，龙头企业市值将超千亿

我们对2020-2025年HJT市场空间进行测算，假设:

1)   全球电池片产量从168GW增长至490GW，CAGR=24%，产能利用率为75%，产能从224GW增长至653GW。（2019年全球电池片产量为140GW，yoy+23%，产能利用率为66%）；

2)   未来5年HJT在行业渗透率从3%提升至55%；

3)   设备投资额从5亿，以15-20%的年降幅下降至2.5亿元。

测算得出，2025年HJT设备市场空间有望达419亿元，2020-2025年CAGR达80%，其中PECVD设备规模达210亿元，市场将迎来爆发式增长。

通用设备行业具有较强的“先发优势”特征，在技术未成熟的初期，设备公司需要与下游客户进行不断的工艺磨合、验证。虽然前期成本较高，但一旦验证通过，将拿下绝大多份额，且不容易被其他竞争对手所替代。

对比PERC工艺，由于HJT单工艺步骤难度较大（更偏向于半导体工艺）、前期研发投入成本更高，当行业进入成熟期，我们预计会类似半导体设备行业（应用材料+泛林半导体），由2-3家占据90%以上市场份额。

我们对2025年HJT设备400亿市场空间，进行合理市值空间测算：

1)  假设HJT设备净利率20%（参考捷佳PERC设备在2017-2018年左右的盈利表现，40%毛利率，20%净利率，HJT设备技术壁垒较PERC更高，盈利能力预计不弱于PERC设备），对应约80亿利润；

2)  给与设备行业25倍PE估值（迈为、捷佳上市以来PETTM基本在30-35倍PE以上），对应支撑2000亿市值。

3)  基于设备行业集中度较高的特征（通常2-3家占据90%以上市场份额），假设行业基本面没有大的变化，市场将有望诞生千亿市值公司！

4.TOPCon：后PERC时代的延伸技术，有望接力放量

4.1. PERC电池效率瓶颈将至，TOPCON将迎存量市场升级需求

TOPCon太阳能电池-Tunnel Oxide PassivatedContactPassi是一种使用超薄氧化层作为钝化层结构的太阳能电池。由德国Fraunhofer研究所的Frank Feldmann博士在2013年报道的电池概念，近2年开始逐步实现产业化。

TOPCon原理：在电池的背面制备一层超薄的隧穿氧化层和高掺杂的多晶硅薄层。两者共同形成的钝化接触结构，为硅片的背面提供了良好的表面钝化。超薄氧化层可以使多子电子隧穿进入多晶硅层时租到少子空穴复合，进而电子在多晶硅层横向传输被金属收集，从而降低了金属接触复合电流，提升了电池的开路电压和短路电流。

TOPCon结构：电池基板以N型为主，使用一层超薄的氧化层和掺杂的薄膜硅钝化电池的背面。背面氧化层厚度为1.4nm，采用湿法化学生长，随后在氧化层上，沉积20nm掺磷的非晶硅，之后经过退火重结晶加强钝化效果。

TOPCON将为PERC打开天花板。从未来2-3年的维度来看，因存量PERC电池体量较大（2021年底PERC产能将超300GW）、且绝大多为近2年新上产能，有较强的升级需求，叠加HJT设备投资短期不具备性价比等因素。存量电池片厂商将更优先选择通过对原有PERC工艺进行技术升级（即升级TOPCON）,来提升电池的转换效率。

TOPCon几大核心优势：

1)  兼容性：与传统PERC电池产线具有兼容性，可直接升级。由于TOPCon电池和PERC电池的制作工艺流程相似，因此大部分设备可以和PERC产线共用，只需增加硼扩散设备、薄膜沉积设备和去绕镀环节清洗设备。

2)  转换效率：提升潜力远高于PERC电池。据知名太阳能研究所ISFH分析，理论上TOPCon电池的效率极限远高于P型PERC电池（TOPCON极限达到28%以上），具有更高的提升潜力。就目前量产效率而言，TOPCon电池的量产效率已提升至24%附近，而PERC电池的量产效率在23.5%以内。

3)  设备投资额：有望持续降低，性价比凸显。由于与PERC产线兼容，TOPCon单GW设备投资额较PERC仅增加20-30%。随着核心设备的LPCVD国产化，TOPCon设备投资额已下降至目前的2.1-2.3亿元/GW（相当于基于PERC老产线，增加5000-7000万投资），性价比逐步凸显。

目前PERC产线扩张即将进入尾声，而HJT技术仍存在设备成本较高的问题（单GW投资成本为4-5亿元左右）。

据不完全统计，目前国内PERC+/TOPCon电池计划产能已达75GW。

4.2.TOPCon多技术路径并存，2022-2024年迎行业爆发期

在TOPCon核心的薄膜沉积工艺设备中，LPCVD为目前市场主流。我们判断，未来管式PECVD可能成为行业趋势，ALPVD具一定潜力。

1)  LPCVD:  可一站式完成隧穿氧化层和poly层的制备。热氧和淀积poly层两个工艺二合一能够大幅提高产能，降低设备成本。热氧工艺完成后在低压状态下进行淀积poly层，除节约时间外，更重要的是能够对超薄氧化硅层起到保护作用，一方面使氧化层不会在出舟过程中被进一步氧化，失去隧穿效应；另一方面氧化层也不会在空气中被污染。优势：相比PECVD和ALPVD技术较为成熟，可靠性高，厚度均匀性好。

2)  管式PECVD:  在一定温度下，通过高压放电(通常在反应炉周围施加混合频率的RF电磁场)，使得原材料其它发生电离，产生自由电子、等离子体、中性粒子混合态。多种粒子混合态中，电离导致化学基团活性增强，化学反应所需要的环境温度降低；同时电离导致粒子密度增加，各种离子之间的碰撞概率增加，从而也促进气体的反应以及薄膜沉积。优势：沉积速度快、沉积温度低（200℃），相比LPCVD成本更低。

3)  PEALD：是一种化学气相沉积技术，最初被用于生产纳米结构的结缘体和薄膜电致发光显示器的硫化锌发光层。可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。优势：相比LPCVD和PECVD稳定性、适用性高。

目前，在TOPCon设备领域布局的主要企业包括：金辰股份、捷佳伟创、拉普拉斯、江苏微导等，多技术路径厂家并存。

金辰股份：管式PECVD布局领先，以累计获3家客户导入。

1)   继6月SNEC光伏展后，公司管式PECVD技术获重要客户晶科引入，标志着公司TOPCon技术获市场进一步验证。目前，晶科已具备GW级TOPCon量产布局，量产转化效率达24.5%。5月底，晶科TOPCon研发效率达25.25%，创下大面积N型单晶钝化接触电池效率世界纪录。

2)   此前，公司TOPCon技术已导入晶澳、东方日升2家客户。东方日升平均效率已≥24%+（经过半年时间），晶澳已进入中试提效阶段（经过一年半时间）。

3)   2019年起，公司与中科院宁波材料所合作研发TOPCon，目前已实现管式PECVD设备、“超薄氧化硅+原位掺杂非晶硅”核心材料制备，在抑制非晶硅爆膜、防止电场导通等取得重大突破。

捷佳伟创：具TOPCon整线设备供应能力，在行业保持技术领先地位。

1)  公司核心布局LPCVD，设备性能已达到海外领先水平。公司持续研发LPCVD硼扩散等设备，自主研发的LD-320型号已实现量产（适用于156尺寸），针对TOPCon电池的大口径LD-420型LPCVD设备样机已完成装配，处于调试阶段。

2)  同时，公司已布局管式PECVD技术进行TOPCon电池的掺杂和隧穿层制备，目前进展较好，有望解决LPCVD设备镀膜产生的绕镀问题。

3)  截至2021年2月22日，公司PERC+/TOPCon在手订单达0.75亿元。因TOPCON设备的下游客户与PERC设备基本重合，公司作为传统PERC设备龙头，我们预计有望占据较大的市场份额。

深圳拉普拉斯：覆盖TOPCon全工艺流程设备，LPCVD设备布局领先。主要产品线包括：

1)   等离子增强化学气相沉积镀膜系统PECVDTwinLPE430/10：可应用于各种高效电池AlOx和SiNx生长工艺，为各类太阳能电池生产和研发的核心工艺设备。

2)   等离子增强化学气相沉积水平镀膜系统PECVDVEGALVG400/0X：可应用于各种高效电池AlOx和SiNx生长工艺，为各类太阳能电池生产和研发的核心工艺设备。

3)   低压水平化学气相沉积镀膜系统LPCVDLLP370/05：可应用于N-TOPCon电池的隧穿氧化层与非晶硅生长工艺，为下一代高效N-TOPCon电池的核心工艺设备。

4)   低压水平硼扩散系统LRB370/05：可应用于P型掺杂，N-PERT和N-TOPCon电池的P型发射极工艺，为下一代高效N-TOPCon太阳能电池的核心工艺设备。

江苏微导：采用适用于TOPCon技术的ALD设备，已进入量产阶段

1)  夸父系列原子层沉积镀膜系统（ALD）：采用自主知识产权的反应腔体设计和先进的薄膜沉积技术,确保为晶硅太阳能电池表面钝化提供高质量超薄三氧化二铝钝化膜。产能为4000(片/小时，10nm)

2)  后羿系列板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统：微导HY4000系统结合了空间CVD和ALD技术和专有的上下料自动化可进行自动在线三氧化二铝薄膜钝化层工艺。专用于大批量生产单面钝化层，后羿系统可提供高质量的钝化膜和低生产成本。产能为4000(片/小时，10nm)

3)  以上两种工艺设备均用于镀膜步骤中的生成三氧化二铝钝化薄膜层工艺，可显著提高良率降低成本。

TOPCon核心市场需求在于PERC存量市场的升级，我们对2020-2025年TOPCon产能进行进一步测算。假设：

1)   PERC新建产能趋于降低，由2021年的143GW逐渐降低至2025年无新增扩产；

2)   假设2019年及以前的PERC产能，因受制厂房空间，80%无法升级为TOPCon；

3)   TOPCon在存量PERC产能的渗透比例由4%上升至100%；

4)   TOPCon设备投资额从0.7亿/GW下降至0.5亿/GW。

测算得出，2023年将达到TOPCON扩产高峰期，TOPCon升级需求为113GW，对应设备的市场规模达56亿元。

5.投资建议：迈为股份、金辰股份、捷佳伟创、上机数控

重点推荐异质结设备相关上市公司：迈为股份（PERC丝网印刷+HJT电池片设备）；捷佳伟创（PERC+HJT+TOPCon电池片设备）；金辰股份（光伏组件设备；HJT+TOPCon电池片设备）；上机数控（异质结N型硅片切片机+异质结薄片化N型硅片）。

同时关注老牌异质结设备非上市公司：理想万里晖、钧石能源。

5.1. 迈为股份：光伏异质结设备领军者，未来5年持续高增长

光伏丝网印刷设备龙头：公司主营光伏电池丝网印刷生产线成套设备，用于电池片制造后道工序中。目前公司丝网印刷设备在国内增量市场份额已超过70%，居于首位。

公司近年业绩高增长受益于大尺寸硅片迭代带来的下游PERC电池大幅扩产，以及丝网印刷产品市占率的提升。未来核心业绩增长点：异质结设备业务逐步放量。

公司HJT技术布局领先。公司核心布局PECVD、PVD、和丝网印刷设备，并在清洗制绒设备端参股江苏启威星，已实现95%以上的异质结设备供应能力，转化效率可达24%以上。同时，公司拥有MES片级跟踪系统对全电池产线进行调度及智能优化。

2020年8月，公司中标安徽宣城500MW异质结项目，合计金额达2.48亿元，目前已经收到了客户的预付款。中标项目包括：一套PECVD设备，产能达8000片/小时；两套PVD设备，合计产能13500片/时，性能表现优异。同时，公司已在通威HJT产线上充分验证，有望收获订单。

2020年12月4日，公司发布其量产级HJT2.0异质结设备平台，其整线自制率达到95%（实现除清洗制绒以外的全覆盖）。同时，公司推出了三大重要的未来战略，包括研制半片电池整线设备（满足硅片大型化和薄片化的趋势）、开发多主栅低银浆方案和银包铜方案（进一步降低银浆耗量）。

公司HJT设备在安徽华晟500MWHJT项目进展超预期，采用迈为的HJT整线设备。

1)  第一条线：采用理想PECVD。3月29日，据华晟官网，经过近1周调试、试产，HJT平均量产效率达23.8%、最高达24.39%。

2)  第二条线:采用迈为PECVD+PVD+丝网印刷和启威星清洗制绒设备。4月13日，据安徽华晟新能源CEO徐晓华博士介绍，华晟500MW异质结电池组件项目第二条产线最佳电池片效率达到了24.52%，批次平均效率达到了24.14%。

3)  目前，华晟首批异质结组件已顺利出口发货海外。华晟预计下半年将再扩2GW，采用高精度串焊+银包铜浆料，预计异质结电池将具性价比。

公司HJT设备在通威合肥HJT电池数据超预期，采用迈为的PECVD+PVD设备。

1)  3月31日，清华大学考察团对通威合肥200MW异质结电池中试线进行考察。目前通威合肥批量生产的电池片以24.3%的转换效率为主。

2)  据通威股份光伏首席技术官邢国强博士3月25日在技术论坛上的演讲，通威中试线良率已达97.84%、最高达98.44%，与PERC已非常接近。且预计到2021年Q4，公司HJT转换效率有望提升至25%。

据迈为股份官方公众号，经德国哈梅林太阳能研究所（ISFH）测试认证，公司研制的异质结太阳能电池片，全面积光电转换效率达25.05%，刷新了异质结量产技术领域的最高纪录。

此次异质结电池片为166量产型大尺寸，具备商业化量产可参考性。此前ISFH验证的HJT电池最高转换效率为25.11%、由汉能在2019年创造，为M2小尺寸电池片。

近半年来，随着迈为HJT核心客户安徽华晟、通威合肥HJT项目在效率、良率端均有重大突破，代表着公司设备已步入成熟，有望充分受益下游HJT电池扩产。

5.2. 金辰股份：光伏异质结电池设备新星，组件设备龙头将二次腾飞

公司为全球光伏组件设备龙头，市占率达50%，客户覆盖隆基、晶澳、东方日升等一线龙头。近年来，公司逐步向电池片设备产业链延伸，市场空间几倍于组件设备，且客户大部分趋同，有望在HJT+TOPCon电池片设备“弯道超车”。

异质结（HJT）PECVD设备：与德国H2GEMINI（核心成员曾就职于应用材料、梅耶博格、施密德等）合资设立金辰双子，技术实力+股权机制行业领先。同时，公司与中科院宁波所、大连理工大学、哈尔滨工业大学等高校和科研机构有广泛合作，采用异于美德日同行的中心化并行流程技术（德国技术是串行流程生产），效率更优。

据公司官网，公司自主研发的首台HJT用PECVD设备已运送抵达晋能科技，战略意义重大。

1)公司为组件设备龙头，自2017年起着手异质结PECVD项目启动工作。公司异质结PECVD设备具有产能大、成本低等优点，设备进展有望超市超预期。

2)晋能是国内最早进行HJT电池研发和量产的龙头企业。自2015年至今，晋能团队已开始对HJT电池及组件相关技术进行研发探索，异质结行业经验丰富。本次公司首台异质结PECVD设备落地晋能，标志着公司在异质结设备领域获得重要突破、设备获下游客户认可，双方将在异质结PECVD设备的研发展开进一步联合战略合作，期待公司异质结设备进展再突破。

3)3.8亿定增已获证监会批文、进展顺利。本次定增募集资金3.8亿元，将用于研制光伏异质结（HJT）用PECVD设备、形成设备年产能20台。在光伏异质结电池行业爆发来临之际，打开公司成长空间。公司定增预案于2020年5月发布，2020年12月发布定增修订稿，2021年4月6日定增申请获中国证监会发行审核委员会审核通过，4月28日已获得证监会核准批文。

TOPCon设备：管式PECVD获重要客户晶科引入，已累计获3家客户导入，进展顺利

据金辰官网、各公司公告、新闻

1)继2021年6月SNEC光伏展后，公司管式PECVD技术获重要客户晶科引入！标志着公司TOPCon技术获市场进一步验证。目前，晶科已具备GW级TOPCon量产布局，量产转化效率达24.5%。5月底，晶科TOPCon研发效率达25.25%，创下大面积N型单晶钝化接触电池效率世界纪录。

2)此前，公司TOPCon技术已导入晶澳、东方日升2家客户。东方日升平均效率已≥24%+（经过半年时间），晶澳已进入中试提效阶段（经过一年半时间）。

3)2019年起，公司与中科院宁波材料所合作研发TOPCon，目前已实现管式PECVD设备、“超薄氧化硅+原位掺杂非晶硅”核心材料制备，在抑制非晶硅爆膜、防止电场导通等取得重大突破。

5.3. 捷佳伟创：光伏电池设备龙头，未来5年持续高成长

光伏电池片设备龙头，受益新型高效电池产能扩张：公司主营光伏制绒设备、扩散炉、抛光设备、淀积炉、自动化设备、丝印设备等六大系列，产品市占率超50%。2016-2020年营收/净利润复合增速达29%/28%。

公司近年业绩高增长受益于PERC电池扩产。公司主营工艺设备价值量占PERC产线的60%-70%。2020年公司PERC新增订单金额达71亿元，同比增长42%。截至2021年Q1公司合同负债37亿元，较上年同期预收账款增长58%。假设按“3331”的付款方式，预计在手订单超100亿元，为公司未来业绩增长提供保障。

后PERC时代，TOPCon和HJT工艺路线公司均有布局：TOPCon产线方面，公司的LPCVD设备优势明显，有望获得绝大部分市场份额。HJT产线方面，公司与爱康、润阳合作，有望尽快实现突破。

11月20日，捷佳伟创与润阳集团在江苏盐城签署30GW单晶PERC+和5GWHJT异质结项目战略合作框架协议，在单晶PERC+和高效及超高效HJT技术领域进行广泛合作。计划使PERC+产线平均效率将高于24%、HJT产线平均效率将达到25%。

我们假设，本次30GWPERC+项目老产线改造（假设改造费5000万/GW）和新产线建设（假设2.3亿/GW）占比各一半，5GWHJT项目设备投资额为4.5亿/GW，则测算未来潜在订单量达65亿元。

2020年12月3日，继公司推出高效和超高效HJTTCO设备（RPD系列）之后，公司PECVD设备（PECVD5500）实现客户出厂交付，载片板采用M6硅片10×10布局，基础型号通过减配腔体和增配串联腔体，可以实现3000-11000的产能选择。

核心客户爱康科技异质结项目进展顺利，今年将再扩3.4GW。据爱康科技官方公众号，截至4月初，其HJT平均量产效率已达24.2%，出片速度已至1200片/小时。4月11日，爱康公告将在长兴、泰兴两地合计新增3.4GW异质结电池产能，设备进场时间要求为2021年6月和2021年9月。爱康作为公司异质结领域核心战略客户，期待公司异质结设备再获突破。

公司25亿定增顺利完成，进一步加码异质结用PECVD、PAR设备。达产后预计新增HJT用湿法设备和PECVD设备产能20GW/年、HJT用PAR产能50套/年（对应12.5GW/年）。

5.4. 上机数控：异质结N型硅片未来龙头，薄片化切片机龙头！

金刚线切片机龙头，拓展下游单晶硅业务：公司为光伏金刚线切片机龙头，国内市占率达45%左右。2019年来，公司拓展下游单晶硅业务，有望打开新成长空间。

公司切片机业务国内市占率45%左右。公司在行业内与大连连城（隆基股份关联方企业）、青岛高测（科创板上市）形成三方寡头垄断。光伏单晶硅趋向大尺寸化。主流光伏组件厂商纷纷布局210、182等大尺寸组件，带动210、182等大尺寸单晶硅需求，从而带来光伏切片机迭代需求。

切片机作为公司传统业务的最强项，市占率最高时超过行业第二和第三名之和。随着异质结行业未来N型硅片薄片化（120-130um）需求的扩张，我们判断，公司有望成为N型硅片切片机未来龙头，强力推动行业薄片化进程！

2019年起，公司从单一设备商向单晶硅独立第三方供应商转型，抓住单晶硅向“210/182大尺寸”升级机遇“弯道超车”，有望在大尺寸硅片领域迅速形成核心竞争力。公司和行业龙头的比较优势包括：（1）上机数控的设备为全新设备，在整体效率上可能略高些（隆基股份有些老设备），同时新上的部分设备具备兼容210大尺寸硅片的生产能力；（2）上机数控和下游电池片、组件客户不存在竞争关系，有利于形成良好稳定的客户关系，使销售更顺畅。

硅片签单合计达305亿元：2020年11月以来，公司与天合光能、东方日升、阿特斯、正泰、通威相继签订光伏单晶硅合计305亿长单。我们判断，公司在210大尺寸硅片环节，产品品质已得到下游客户高度认可，将强力推动210大硅片产业化，未来上机有望成为210大尺寸硅片的龙头。

硅料保障：签采购合同超265亿元，2021年硅料已大部分得到保障。

颗粒硅：与协鑫合建30万吨颗粒硅，强化硅片竞争力、带来新的重大盈利增长点。

颗粒硅为重大技术创新，成本将大幅低于棒状硅、投产周期明显缩短，有助于缓解目前行业最大瓶颈——硅料环节供需失衡。近期保利协鑫颗粒硅技术应用示范项目正式投产，具重大意义，颗粒硅产业化进程将提速。上机和协鑫合资生产30万吨颗粒硅（上机一期6万吨中占比35%），强力推动颗粒硅产业化进程，对应可满足近100GW硅片的硅料需求，未来公司硅料保障能力将进一步加强；同时有望强化公司硅片的核心竞争力、同时带来新的盈利增长点。

5.5. 理想万里晖：深耕PECVD设备领域多年，已推出500MW产能设备

2013年，公司由理想能源PECVD事业部拆分，团队主要成员包括陈金元博士、钱学煜博士和胡宏奎博士，均来自全球知名半导体装备制造企业。

公司专注高端PECVD设备的研发。2013年研发完成SHJ用PECVD量产机台，2017年第1代年产能60MWSHJ用PECVD全面推向市场，并获得22台量产设备订单。2019年公司PECVD设备光电转换效率达25.11%（研发效率），打破了日本人创造并不断刷新和保持了29年的世界纪录。2020年公司第2.5代SHJ用PECVD设备研制完成。

2021年，公司PECVD设备已升级至第三代，设备产能达500MW/年。并从异质结最初的核心PECVD设备延伸至PVD设备、自动化、整线集成及交钥匙服务，量产效率大于24.5%，并累计获得了异质结客户10家，通过验收7家。

下游客户主要包括：成都通威、东方日升、中威、普兰特等。

5.6. 钧石能源：HDT产能超1GW，发布全新一代500MW异质结设备

钧石能源成立于2005年，于2010年开始高效单晶HIT电池的研发。其PECVD设备采用独特的RF电极设计，辉光电极间隙可调，低功率起辉稳定，载板温度均匀性好，沉积的薄膜厚度均匀。

在2020年8月SNEC展上，公司发布具有自主知识产权的“GW异质结量产设备”，可兼容166mm、18Xmm、210mm大尺寸硅片。正常运行时间超过90%，单机产能达到200MW。

2016年，公司建成国内首条拥有自主知识产权100MW高效HIT电池生产线，效率突破23%。2018年，公司建设全球首个1GWHDT高效HIT电池、组件工厂，并于2季度投产。目前，公司在泉州市和莆田市拥有2个高效异质结太阳能电池及组件生产基地，产能超过1GW。2020年，公司“二代异质结太阳能电池生产装备”入选国家能源局第一批能源领域首台（套）重大技术装备项目，为第一家入选该项目的光伏企业。

2021年6月SNEC上海光伏展，公司基于169片式平台重磅推出了350MW和500MW两款新产能异质结设备，具备优异的扩展性，可用于单晶异质结生产，也适用低成本的单铸异质结电池量产，且整线装备未来可进行技术升级，用于二代异质结量产，为异质结电池GW级产业化提供了适用于多代异质结电池的通用技术装备平台。

方案具有如下七大特点：

1、采用大腔室设计：大腔室的设计，使得单腔室获得极高的有效镀膜面积，单机产能大，设备更容易实现大产能

2、低热容载板设计：载板热容值低，加热快，温度均匀性好，能耗低

3、I-IN-P镀膜设计构造：首家推出I-IN-P镀膜设计构造，腔室之间气体不会交叉感染，均匀性好，节省气体

4、具备优秀兼容性：具有很好的扩展性，可兼容166mm、18xmm、210mm等尺寸硅片

5、运营成本低：设备能耗低，产线短，占地小，节省车间面积，运营成本更低

6、设备利用率高：腔室少，故障率低，具备在线自清洗系统，日常无需开腔保养

7、 产能方案组合灵活：单机设备可选方案多，有250MW、350MW、500MW等多种方案可选，单线小时产能高达10000片

6. 风险提示

HJT设备降本不及预期风险：目前HJT设备单GW投资仍在4亿元以上，相较PERC具有近3倍的劣势。如HJT设备未来降本速度不及预期，导致下游客户接受意愿降低，将对异质结产业化进展造成不利影响。

光伏产业政策变化和行业波动的风险：近年来，随着技术进步、生产规模扩大等因素，光伏产品制造成本逐步下降，世界各国将逐步对补贴方式和补贴力度进行调整，全球去补贴化加速。若未来光伏制造成本及系统成本下降的幅度慢于补贴下降的幅度，这将对我国的光伏行业的市场需求和行业景气度产生不利影响。

光伏行业产品或技术替代的风险。若未来下游相关产业发生重大技术革新和产品升级换代，下游市场对公司现有设备需求发生不利变化，而公司在研发、人才方面投入不足，技术和产品升级跟不上行业或者竞争对手步伐，公司的竞争力将会下降，对公司经营业绩带来不利影响。

【光伏设备行业】往期报告回顾：

----------------【行业报告】----------------

【颗粒硅】深度：光伏硅料新一代技术，获重大突破、助力降本！-20210531

【光伏异质结设备】深度：引领光伏技术新一轮革命，国产设备将迎来爆发-光伏设备年度策略报告之二-20201210

【光伏“大尺寸”设备】深度：“大尺寸”带来新一轮迭代需求-光伏设备年度策略报告之一-20201123

【光伏设备】硅料价格今年首次下跌，光伏需求迎向上拐点；力推颗粒硅、异质结设备！-20210707

【光伏设备】光伏异质结：GW级产线再现、大规模应用临近；力推三大设备厂-20210630

【光伏设备】颗粒硅产业化获重大进展；力推颗粒硅、异质结、大尺寸三大主线！20210627

【光伏设备】分布式光伏拉动行业需求；重点推荐颗粒硅、异质结、大尺寸！-20210625

【光伏设备】行业需求向上——重点看好颗粒硅、异质结设备-20210610

【光伏设备】拥抱三大新技术——异质结、大尺寸、颗粒硅-20210407

【光伏设备】异质结：光伏电池新一代技术，推荐三大设备厂商-20210321

【光伏设备】中央提议碳中和；高瓴158亿元入股隆基成二股东；光伏设备前景看好！-20201220

【光伏设备】“十四五”全球光伏需求有望超预期！看好“异质结”、“大尺寸”新机遇!-20201211

【光伏设备】光伏210大尺寸阵营登场！第四季度硅片企业盈利能力有望超预期！-20201128

----------------【公司报告】----------------

【上机数控】

【上机数控】深度：崛起！光伏210大硅片龙头！全球单晶硅有望“三分天下”-20210122

【上机数控】深度：成长三部曲：高品质、高接受度、高盈利能力-20201009

【上机数控】硅片降价为常态、促需求提升；具核心竞争力企业盈利有保障-20210702

【上机数控】硅片三期10GW点火！扩产速度超预期；颗粒硅将成新增长点！-20210627

【上机数控】大硅片+颗粒硅：光伏未来十年十倍增长中战略布局领先者!-20210617

【上机数控】拟25亿可转债加码单晶硅扩产；光伏硅片有望“三分天下“-20210525

【上机数控】再签51亿硅料；超265亿元硅料协议及颗粒硅保障供应-20210519

【上机数控】业绩超预期！一季报同比增长402%；光伏硅片有望“三分天下”-20210426

【上机数控】业绩增长187%；单晶硅产能迈向30GW、盈利能力向龙头看齐-20210423

【上机数控】再签64亿硅料；超210亿元硅料协议及颗粒硅保障供应-20210412

【上机数控】与大全再签55亿元硅料采购合同，进一步保障硅料供应-20210305

【上机数控】与协鑫合建30万吨颗粒硅项目，战略意义重大！-20210301

【上机数控】光伏硅片再次涨价超预期！利好具核心竞争力的硅片龙头-20210228

【上机数控】单晶硅再扩产；预计2021年出货量同比增长超3倍-20210220

【上机数控】30亿定增完成；被纳入MSCI指数-20210216

【上机数控】复盘与展望：上涨三部曲——做出产品、做好产品、做好业绩！-20210208

【上机数控】硅片涨价大超预期！210大硅片龙头盈利能力有保障-20210205

【上机数控】高成长、低估值、大潜力：光伏210大硅片龙头逐步崛起！-20210202

【上机数控】再获通威大单！近期305亿元光伏硅片订单保障高成长！-20210129

【上机数控】近期共获292亿元硅片大单，迈向光伏210大硅片龙头!-20210120

【上机数控】近1月获251亿元大单！独立第三方210大硅片龙头受众客户高度认可！-20201207

【上机数控】再获东方日升114亿元大单！光伏210大硅片未来龙头地位逐步奠定！-20201129

【上机数控】二期8GW单晶项目点火成功！光伏210大硅片龙头扩产速度超预期！-202011110

【上机数控】光伏210大硅片未来龙头；非硅成本、盈利能力逐步向隆基看齐！-202011106

【上机数控】光伏行业首个210大硅片百亿长单落地，战略意义重大！公司占核心地位-202011102

【上机数控】单三季度业绩增245%超预期！单晶硅盈利能力向隆基看齐-20201023

【上机数控】签订硅料重大采购合同近40亿元，单晶硅业务有望超预期-20200901

【上机数控】光伏单晶硅盈利能力超预期，切片机将迎迭代需求-20200828

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【迈为股份】

【迈为股份】深度：光伏异质结设备领军者，未来5年持续高增长-20210125

【迈为股份】与通威签12亿订单；激光切割设备再突破；期待异质结设备突破-20210705

【迈为股份】中报业绩符合预期；GW级量产线再现；期待异质结设备再突破-20210702

【迈为股份】异质结电池效率突破25%，创量产纪录；光伏异质结行业将提速-20210530

【迈为股份】一季报业绩高增长，期待光伏异质结设备再突破-20210427

【迈为股份】重要客户华晟HJT项目正式投产！光伏异质结行业将提速-20210425

【迈为股份】重要客户华晟HJT进展再超预期！光伏异质结行业将提速-20210415

【迈为股份】业绩超预期；期待光伏异质结设备再突破，未来5年高成长-20210412

【迈为股份】重要客户华晟HJT进展超预期！光伏异质结设备行业即将起飞-20210330

【迈为股份】拟投设产业基金，战略布局产业链相关上下游-20210217

【迈为股份】业绩符合预期，公司光伏异质结设备未来5年持续高成长-20210125

【迈为股份】业绩符合预期，期待光伏异质结设备订单陆续落地-20201028

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【捷佳伟创】

【捷佳伟创】深度：光伏电池设备龙头，未来5年持续高成长-20210315

【捷佳伟创】一季报业绩超预期，上调盈利预测；期待光伏异质结设备再突破-20210430

【捷佳伟创】与润阳签30GW PERC+和5GW HJT项目合作协议，异质结设备进度超预期-20201123

【捷佳伟创】三季报业绩加速增长，在手订单充沛保障未来业绩高增长-20201028

【捷佳伟创】拟25亿定增加码光伏HJT设备、半导体清洗设备-20200930

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【晶盛机电】

【晶盛机电】深度：长晶设备龙头：光伏/半导体设备、蓝宝石、碳化硅设备接力增长-20210420

【晶盛机电】中报业绩符合预期，期待光伏、半导体、蓝宝石、碳化硅齐发力-20210709

【晶盛机电】再增资中环领先，期待公司半导体设备再突破-20210621

【晶盛机电】业绩提速：在手订单超百亿、一季度新签订单超50亿元超预期-20210428

【晶盛机电】在手订单高增长；期待光伏、半导体、蓝宝石、碳化硅齐发力-20210425

【晶盛机电】2021年业绩将提速：光伏、半导体、蓝宝石、碳化硅齐发力-20210407

【晶盛机电】获中环21亿光伏设备大单；2021年业绩将提速-20210313

【晶盛机电】半导体设备再加码，光伏设备迎单晶硅大扩产-20210208

【晶盛机电】业绩中枢超预期；2021年迎光伏单晶硅大扩产-20210126

【晶盛机电】光伏设备在手订单大增172%，明年业绩有望提速-20201028

【晶盛机电】与蓝思科技合资，蓝宝石将大幅放量；股权激励彰显信心-20200930

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【金辰股份】

【金辰股份】深度：光伏异质结电池设备新星，组件设备龙头将二次腾飞-20201012

【金辰股份】首台异质结设备落地晋能：战略意义重大！成长空间打开！-20210628

【金辰股份】TOPCon设备再突破、获晶科引入，期待光伏异质结（HJT）设备获突破-20210623

【金辰股份】一季报业绩高增长，期待光伏异质结设备获突破-20210430

【金辰股份】定增获审核通过，期待光伏异质结（HJT）设备获突破-20210407

【金辰股份】2020年业绩增长37%，期待光伏异质结设备突破-20210318

【金辰股份】签印度3GW组件设备大单，创中国出口记录-20210125

【金辰股份】增发进程推进，期待光伏异质结设备获突破！20201214

【金辰股份】异质结设备进入样机装配和测试阶段，期待明年“开花结果"-20201208

【金辰股份】光伏电注入设备今年中标已超36GW，期待光伏异质结设备获突破-20201130

【金辰股份】业绩符合预期，期待光伏异质结设备获突破-20201030

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【天合光能】

【天合光能】深度：引领全球光伏智慧能源；盈利向上拐点渐显、未来弹性大-20210625

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【金博股份】

【金博股份】深度：热场材料龙头,强β叠加高α-20210701

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